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最新消息| 上海半導體凈化車間裝修設計:晶圓芯片潔凈生產車間無塵室... | 2024-11-12 |
| 文章来源：由「百度新聞」平台非商業用途取用"http://www.baidu.com/link?url=rTtCSlayynmMk1raFwaqDl1l6FWIH4RUqJiv22QMS_GJ-OJbtSfyQRPWWL25vs3o08JyUEKlbC-HaXBW9i7yalKxUbk388YRM_qxtMqvhR_" 隨著各類產品生產工藝技術、產品性能的不斷研究開發、升級和各種使用要求，工業裝修對空氣潔凈度及污染物的控制要求不斷變化、提高，尤其是半導體集成電路的高速發展是潔凈度等級的擴大和控制微粒粒徑日益嚴格的重要標志。nn半導體凈化車間裝修n千級半導體潔凈車間工程裝修n萬級電子廠半導體生產車檢中心nn半導體凈化車間設計指標及參數要點：nn1. 因其對生產環境的恒溫恒濕溫控制要求很高（溫度控制在22℃±1℃，相對濕度控制在43%±3%）；nn2. 生產大環境的空氣潔凈等級為千級（ISO 6級）；nn3. 光刻等特殊區域的空氣凈化等級十級（ISO 4級）；nn4. 規范要求空氣凈化等級（ISO 1-4級）的凈化室采用垂直層流：上技術夾層（送風靜壓箱）中的空氣通過FFU（風機過濾機組）輸送至潔凈生產層，氣流通過高架地板及華夫板孔洞送至潔凈下技術夾層，再經過回風夾道中的DCC(干冷盤管)回到上技術夾層，循環往復。nn半導體凈化車間裝修流程nn在半導體無塵車間的建造過程中，除了廠房的主體結構施工外，還有潔凈建筑裝飾施工、凈化空調系統及其風管、過濾器的施工安裝、高純水系統及其管線的安裝、高純氣體系統（含特種氣體供應等）及其管線安裝、真空系統及其管線的安裝、化學品供應系統及其管線的安裝、各種排風和排氣系統及其處理設備的安裝、消防安全報警系統及其控制設備的安裝、變配電、電氣系統及其橋架、配管配線的安裝、照明系統及燈具的安裝、防微振裝置的安裝、生產工藝設備及其配管配線的安裝等。還有氣源，包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的，都得使用氮氣(98%)，吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。這些都是設計要注意的地方。nn以上是半導體凈化車間裝修設計重點，僅供大家參考，有需要可以關注本文。nn 關鍵字標籤：hytech.com.tw |
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